- Parameters
- 品牌： 晶芯
- 重要参数： 1T、10T、100T、1000T
核心优势
高精度薄膜电容技术，抗干扰能力强，插拔替代进口
可替代的产品
可替代进口品牌：MKS、INFICON、佳能、西特
具体型号：
• INFICON：CDG020D、CDG025D
• 佳能：M-342G
• 西特：630
产品简介
M253Q系列薄膜电容式压力传感器是一款高精度、温度补偿型真空计，专为复杂工业环境设计。产品采用先进的高精度信号处理电路，结合创新的信号调理技术和算法补偿技术，确保在各种复杂环境下都能提供稳定、可靠的测量结果。
在抗干扰设计方面，产品通过金属外壳封装、内部信号屏蔽技术，以及在所有输入输出端采用滤波网络，大幅增强了在复杂电气环境下的抗干扰能力。此外，内部创新设计的污染物排除系统和沉积挡板，有效阻挡气体中的颗粒物进入传感器内部，显著延长了产品的使用寿命和维护周期。
关键特性
🎯
超高测量精度
0.25% of R.D.
0.01% of F.S.
🛡️
抗干扰设计
金属屏蔽外壳
全链路滤波网络
🔧
宽量程覆盖
1T / 10T
100T / 1000T
⚙️
维护便捷
污染物排除系统
沉积挡板设计
应用领域
半导体长晶设备刻蚀设备数据存储设备工业真空设备
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